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J-GLOBAL ID：200903092286721386
共焦点光学装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
浜本 忠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996161693
Publication number (International publication number)：1998009825
Application date： Jun. 21, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：
【要約】【課題】 光検出器アレイのダイナミックレンジより高い反射光量がある場合の計測精度を向上する。【解決手段】 共焦点光学系を1次元あるいは2次元アレイに配置し、被計測物体からの反射光を受光ピンホールアレイを通過させて光検出器アレイ8にて受光し、この受光光量をピーク処理することにより被計測物体6の高さを計測するようにした共焦点光学装置において、光検出器アレイ8での検出受光量が、この光検出器アレイ8のダイナミックレンジ範囲内で設定された受光光量を越えた状態での上記反射光のピーク処理を無効にする機能を有している。
Claim (excerpt)：
共焦点光学系を1次元あるいは2次元アレイに配置し、被計測物体からの反射光を受光ピンホールアレイを通過させて光検出器アレイにて受光し、この受光光量をピーク処理することにより被計測物体の高さを計測するようにした共焦点光学装置において、光検出器アレイでの検出受光量が、この光検出器アレイのダイナミックレンジ範囲内で設定された受光光量を越えた状態での上記反射光のピーク処理を無効にする機能を有することを特徴とする共焦点光学装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/02 Z
, G01B 11/24 C
