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J-GLOBAL ID：200903092307096207

LSI故障解析装置とその解析方法

Inventor： 後藤 順一
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 畑 泰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000351663
Publication number (International publication number)：2002156418
Application date： Nov. 17, 2000
Publication date： May. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 ロジックLSIを対象とした故障箇所推定結果を、マスクレイアウト上に重ね合わせて表示するLSI故障解析装置において、故障箇所を特定する情報としてマスクレイアウトデータのクリティカルエリアを利用したLSI故障解析装置を提供する。【解決手段】 設計データと製造ラインでの異物分布情報を参照し、故障の起こりやすさの指標であるクリティカルエリアを算出し、且つ算出結果をマスクレイアウト表示と故障箇所候補とを関連させて表示することにより、故障候補の絞込を支援することを可能にした。

Claim (excerpt)：

同一に設計した複数のLSIの故障ノード候補リストと、該LSIの設計データとを参照し、該LSIのレイアウトを表示し、該レイアウト表示上に、該LSIの任意の数のLSIの故障ノード候補群を重畳して表示するレイアウト表示手段を備えるLSI故障解析装置であって、該LSIの設計データと該LSIの製造ラインにおける異物分布情報とを参照して、該故障ノード候補群の任意の故障ノードに対するクリティカルエリアを算出するクリティカルエリア算出手段と、該算出結果情報を表示するクリティカルエリア情報表示手段とを備えることを特徴とするLSI故障解析装置。

IPC (5)：

G01R 31/28 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/82 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (4)：

H01L 21/66 A ,  G01R 31/28 H ,  H01L 21/82 T ,  H01L 27/04 T

F-Term (27)：

2G032AB01 ,  2G032AB20 ,  2G032AC03 ,  2G032AD08 ,  2G032AE08 ,  2G032AE09 ,  2G032AE10 ,  4M106AA08 ,  4M106AC01 ,  4M106BA20 ,  4M106CA01 ,  4M106CA42 ,  4M106CA70 ,  4M106DA14 ,  4M106DA20 ,  4M106DJ23 ,  5F038DT15 ,  5F038DT19 ,  5F038EZ20 ,  5F064EE14 ,  5F064EE15 ,  5F064HH09 ,  5F064HH10 ,  5F064HH14 ,  5F064HH15 ,  5F064HH17 ,  5F064HH19