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J-GLOBAL ID：200903092307927044

転写型への充填方法および装置

Inventor： 中村 剛 ,  内田 雅之 ,  松本 武司
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 金山 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999177958
Publication number (International publication number)：2001001494
Application date： Jun. 24, 1999
Publication date： Jan. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】転写欠陥の原因となる局部的充填ヘコミを解消する転写型への充填方法および充填装置を提供する。【解決手段】凹部を有する転写型に転写材料を充填する方法において、前記転写型に基準充填量を越えた前記転写材料を供給する供給過程と、前記供給した転写材料の内の前記基準充填量を越えた部分を拭き取る拭取過程とを有するようにした充填方法。および、その方法が適用された装置。

Claim (excerpt)：

凹部を有する転写型に転写材料を充填する方法において、前記転写型に基準充填量を越えた前記転写材料を供給する供給過程と、前記供給した転写材料の内の前記基準充填量を越えた部分を拭き取る拭取過程とを有することを特徴とする充填方法。

IPC (6)：

B41F 17/14 ,  B41F 3/38 ,  G03F 7/16 ,  G03F 7/16 501 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (6)：

B41F 17/14 E ,  B41F 3/38 ,  G03F 7/16 ,  G03F 7/16 501 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

F-Term (19)：

2H025AA00 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AA17 ,  2H025AB17 ,  2H025DA19 ,  2H025DA20 ,  2H025EA00 ,  2H025EA03 ,  2H025EA10 ,  5C027AA09 ,  5C040GF19 ,  5C040JA01 ,  5C040JA04 ,  5C040JA13 ,  5C040JA19 ,  5C040JA23 ,  5C040JA31 ,  5C040MA23