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J-GLOBAL ID：200903092315824513

相変化材料を有するナノワイヤを有する電気デバイス

Inventor： バケルス,エリク ペー アー エム ,  ランクホルスト,マルテイン ハー エル
Applicant, Patent owner： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
Agent (3)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007533007
Publication number (International publication number)：2008515181
Application date： Aug. 19, 2005
Publication date： May. 08, 2008
Summary：

本発明の方法は、本発明の電気デバイス(100)の製造方法に関する。当該電気デバイス(100)は、抵抗器を有する主部(102)を有する。その抵抗器は、第1相と第2相との間で変化可能な相変化材料を有する。その抵抗器は、その相変化材料が第1相のときに、第1電気抵抗を有し、その相変化材料が第2相のときに、第1電気抵抗とは異なる第2電気抵抗を有する。その抵抗器は、第1導体(172,120)及び第2導体(108,121)と電気的に接続するナノワイヤ(NW)である。本発明の方法は、第1導体(172,120)を有する主部(102)を供する工程、第1導体(172,120)にナノワイヤ(NW)を供することで、前記ナノワイヤ(NW)と前記第1導体(172,120)とを電気的に接続する工程、及び前記ナノワイヤ(NW)に第2導体(108,121)を供することで、前記ナノワイヤ(NW)と前記第2導体(108,121)とを電気的に接続する工程、を有する。

Claim (excerpt)：

抵抗器を有する主部を有する電気デバイスの製造方法であって: 前記抵抗器は、少なくとも第1相と第2相との間で変化可能な相変化材料を有し、かつ第1導体及び第2導体と電気的に接続するナノワイヤで、 前記第1導体を有する前記主部を供する主部提供工程; 前記第1導体に前記ナノワイヤを供することで、前記ナノワイヤと前記第1導体とを電気的に接続する、第1提供工程;及び 前記ナノワイヤに前記第2導体を供することで、前記ナノワイヤと前記第2導体とを電気的に接続する、第2提供工程; を有する電気デバイス製造方法。

IPC (2)：

H01L 27/105 ,  H01L 45/00

FI (2)：

H01L27/10 448 ,  H01L45/00 A

F-Term (9)：

5F083FZ10 ,  5F083GA10 ,  5F083JA35 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA60 ,  5F083PR33

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 米国特許第5933365号明細書
  
• 国際公開第2003/083949号パンフレット