光重合性組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991190001
Publication number (International publication number)：1993036581
Application date： Jul. 30, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】剥離片が微細で、かつエッジフュージョンが発生しにくい、アルカリ水溶液処理が可能な光重合性組成物を提供する。【構成】(1)カルボキシル基含有バインダー、(2)光重合可能なモノマー、及び(3)光重合開始剤を含有する、アルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成物において、下記一般式(a)を含むモノマー、下記一般式(b)を含むモノマー、及び下記一般式(c)を含むモノマーの、重量平均分子量5,000〜200,000の共重合体を、該カルボキシル基含有バインダーの5%以上含む。【化1】

Claim (excerpt)：

(1)カルボキシル基含有バインダー、(2)光重合可能なモノマー、及び(3)光重合開始剤を含有する、アルカリ水溶液で現像可能な光重合性組成物において、下記一般式(a)を含むモノマー、下記一般式(b)を含むモノマー、及び下記一般式(c)を含むモノマーの、重量平均分子量5,000〜200,000の共重合体を、該カルボキシル基含有バインダーの5%以上含むことを特徴とする光重合性組成物。【化1】(R1、R2、R3、R5はそれぞれ水素原子もしくはメチル基、R4は炭素数1〜5のアルキル基、R6は水素原子、メチル基、エチル基、メトキシ基、エトキシ基、塩素原子もしくは臭素原子を表し、nは1〜10の整数を表し、組成比が(a)10〜35重量%、(b)1〜30重量%、(c)35〜85重量%である)

IPC (8)：

H01L 21/027 , C08L 33/08 LJA , G03F 7/00 501 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , H05K 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平2-084652
特開平2-269721
特開平3-006202

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