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J-GLOBAL ID:200903092341482540

炭化珪素質焼結体及びこれを用いた磁気ヘッドスライダ用基板

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001100384
Publication number (International publication number):2002293634
Application date: Mar. 30, 2001
Publication date: Oct. 09, 2002
Summary:
【要約】【課題】緻密質であって、研磨等の機械加工やイオン照射による表面加工後の表面平滑性が高く、金属不純物が少なく、しかも非磁性の炭化珪素質焼結体を提供する。【解決手段】炭化珪素を主成分とし、アルミナとイットリアとを含む炭化珪素質焼結体において、相対密度が99%以上で、かつアルミナとイットリアの合計含有量が1.2〜5.2重量%、不純物として含まれる磁性金属の総量が700重量ppm以下であり、シリカを実質的に含まない炭化珪素質焼結体とする。
Claim (excerpt):
炭化珪素を主成分とし、アルミナとイットリアとを含む炭化珪素質焼結体において、相対密度が99%以上で、かつアルミナとイットリアの合計含有量が1.2〜5.2重量%、不純物として含まれる磁性金属の総量が700重量ppm以下であり、シリカを実質的に含まないことを特徴とする炭化珪素質焼結体。
FI (2):
C04B 35/56 101 F ,  C04B 35/56 101 Y
F-Term (13):
4G001BA03 ,  4G001BA09 ,  4G001BA22 ,  4G001BB03 ,  4G001BB09 ,  4G001BB22 ,  4G001BB71 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BC55 ,  4G001BD03 ,  4G001BD27 ,  4G001BE34

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