Pat

J-GLOBAL ID：200903092372963570

ガスバリヤー性透明導電性積層体とその製造法

Inventor： 福田 伸 ,  福田 信弘
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992332001
Publication number (International publication number)：1994099536
Application date： Dec. 11, 1992
Publication date： Apr. 12, 1994
Summary：

【要約】【構成】 ポリエーテルスルフォンやポリエーテルエーテルケトン等の高分子フィルム基材に対して、少なくとも有機珪素化合物ガスと酸素を原料としたプラズマCVD法により作成した酸化珪素層と透明導電層とが適宜積層されてなるガスバリヤー性透明導電性積層体。【効果】 水蒸気や酸素を避けなければならない液晶表示素子への応用に適した、透明性ならびに可撓性、高ガスバリヤー性を持つ透明導電性フィルムが提供される。

Claim (excerpt)：

透明高分子フィルム基材に対して、酸化珪素の層と透明導電層とが積層されるものであって、該酸化珪素層が少なくとも有機珪素化合物ガスと酸素とを用いた減圧プラズマ化学気相蒸着法で形成せしめたものである高ガスバリヤー性透明導電性積層体。

IPC (5)：

B32B 9/00 ,  B32B 7/02 ,  B32B 27/08 ,  C23C 14/06 ,  H01B 13/00 503