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J-GLOBAL ID：200903092373062801

静電チャック及びその製造方法

Inventor： 大谷 義和 ,  茂木 弘 ,  新井 健一 ,  小林 利美
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999177607
Publication number (International publication number)：2001007189
Application date： Jun. 24, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：

【要約】【解決手段】 静電吸着用電極をセラミックスからなる絶縁性誘電体層で被覆してなるチャック機能部と、該チャック機能部を支持するプレート部とを互いに接合してなる静電チャックにおいて、上記プレート部のチャック機能部との接合面に凹状溝が形成され、この凹状溝の内部に高周波用電極が埋設されていることを特徴とする静電チャック。【効果】 本発明によれば、高周波電圧の印加を遮断することなくプラズマを発生させることができるため、静電チャック自体が高周波用平板電極の機能をも兼ね備えることができると共に、チャック機能部とプレート部の材質を共にセラミックスにする等、両者の熱膨張率差を小さく設計することが可能となり、幅広い温度領域において内部応力を最小限にすることができ、チャック機能部とプレート部との間の割れ・反り、クラックの発生を大幅に防止し得る静電チャック及びその製造方法を提供することができる。

Claim (excerpt)：

静電吸着用電極をセラミックスからなる絶縁性誘電体層で被覆してなるチャック機能部と、該チャック機能部を支持するプレート部とを互いに接合してなる静電チャックにおいて、上記プレート部のチャック機能部との接合面に凹状溝が形成され、この凹状溝の内部に高周波用電極が埋設されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (2)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D

F-Term (9)：

5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA16 ,  5F031HA18 ,  5F031HA37 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32