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J-GLOBAL ID：200903092396100840

パルスレーザ加工装置

Inventor： 藪本 誠一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991164737
Publication number (International publication number)：1993008063
Application date： Jul. 05, 1991
Publication date： Jan. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 加工対象物に対して、加工形状がきれいに仕上り、加工部分の周辺に照射損傷を与えることなく、加工マージンのあるレーザー加工を可能にする。【構成】 第1パルスレーザ発振器1は加工パルスレーザ光11を出力する。第2パルスレーザ発振器2は加工パルスレーザ光11よりもパルス幅が長くかつ、エネルギーの弱いパルスレーザ光12を出力する。加工パルスレーザ光11と、パルスレーザ光12との出射タイミングを制御する制御装置により、加工パルスレーザ光11、パルスレーザ光12が時間差を置いて加工対象物6に投射される。

Claim (excerpt)：

加工パルスレーザ光を出力する第1パルスレーザ発振器と、前記加工パルスレーザ光よりもパルス幅が長くかつ、エネルギーの弱いパルスレーザ光を出力する第2パルスレーザ発振器と、前記加工パルスレーザ光と前記パルスレーザ光とを同軸にて加工対象物に投射する集束光学系と、前記加工パルスレーザ光と、前記パルスレーザ光とを時間差を置いて加工対象物に投射すべく、前記第1パルスレーザ発振器と前記第2パルスレーザ発振器によるレーザ光の出射タイミングを制御する制御装置と、を有することを特徴とするパルスレーザ加工装置。