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J-GLOBAL ID：200903092396335678
感光性樹脂組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
皿田 秀夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998284796
Publication number (International publication number)：1999212263
Application date： Sep. 21, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 高感度、高解像度で、現像性が良く、残膜率の高い新規な感光性樹脂組成物を提供する。また、放射線照射前の加温(プリベーク工程)を省略でき、生産性の向上に大きく寄与できる新規な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性のベース樹脂と、光重合開始剤と、光重合性モノマーと、を含む感光性樹脂組成物であって、アルカリ可溶性のベース樹脂は、アルコキシ基あるいはフェノール性水酸基を有するラジカル重合性モノマーを共重合成分として含む付加重合体であり、光重合開始剤は、ラジカル重合開始剤と光照射によって酸を発生させる光酸発生剤からなり、光重合性モノマーは、多官能性アクリレート系モノマーである。
Claim (excerpt)：
アルカリ可溶性のベース樹脂と、光重合開始剤と、光重合性モノマーと、を含む感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性のベース樹脂は、少なくともアルコキシ基あるいはフェノール性水酸基を有するラジカル重合性モノマーを共重合成分として含む付加重合体であり、前記光重合開始剤は、ラジカル重合開始剤と、光照射によって酸を発生させる光酸発生剤を含み、前記光重合性モノマーは、多官能性アクリレート系モノマーであることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (6)：
G03F 7/032
, C08F 2/50
, C08L101/00
, G02B 5/20 101
, G03F 7/027 502
, G03F 7/038 601
G03F 7/032
, C08F 2/50
, C08L101/00
, G02B 5/20 101
, G03F 7/027 502
, G03F 7/038 601
