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J-GLOBAL ID：200903092400847140

表示用パネル基板の検査装置

Inventor：
長谷川 義栄

About 長谷川 義栄


Applicant, Patent owner：
株式会社日本マイクロニクス

About 株式会社日本マイクロニクス


Agent (1)： 松永 宣行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000138494
Publication number (International publication number)：2001318116
Application date： May. 11, 2000
Publication date： Nov. 16, 2001
Summary：
【要約】【目的】 表示用パネル基板とプローブユニットとを複雑に移動させることなく、短時間で実行し得るようにすること【解決手段】 検査装置は、複数の表示パネル部を互いに交差する第1及び第2の方向に列の形に有する複数個取りの表示用パネル基板の検査に用いられる。検査装置は、ワークテーブルに受けられたパネル基板の電極部に当接される複数の接触子であって前記第1の方向に整列する少なくとも一列分の表示パネル部に設けられた電極部に個々に対応された複数の接触子を有するプローブユニットを用い、プローブユニットとワークテーブルとを第2の方向へ相対的に移動させることにより、少なくとも一表示パネル部列毎に検査する。
Claim (excerpt)：
複数の表示パネル部を互いに交差する第1及び第2の方向に列の形に有する表示用パネル基板を検査する装置であって、前記パネル基板を受けるワークテーブルと、該ワークテーブルに受けられたパネル基板の電極部に当接される複数の接触子であって前記第1の方向に整列する少なくとも一列分の表示パネル部に設けられた電極部に個々に対応された複数の接触子を有するプローブユニットと、該プローブユニットと前記ワークテーブルとを前記第2の方向へ相対的に移動させる移動手段とを含む、表示用パネル基板の検査装置。
IPC (6)：
G01R 31/02 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1345 ,  G09F 9/00 352
FI (6)：
G01R 31/02 ,  G01R 1/06 E ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1345 ,  G09F 9/00 352 ,  G01R 31/28 K
F-Term (37)：
2G011AA02 ,  2G011AA16 ,  2G011AA21 ,  2G011AB08 ,  2G011AC06 ,  2G011AE01 ,  2G011AF07 ,  2G014AA32 ,  2G014AB20 ,  2G014AB21 ,  2G014AC09 ,  2G014AC10 ,  2G014AC15 ,  2G032AA00 ,  2G032AB01 ,  2G032AF02 ,  2G032AF03 ,  2G032AF04 ,  2G032AL04 ,  2G032AL11 ,  2H088FA11 ,  2H088FA16 ,  2H088HA05 ,  2H088HA06 ,  2H088HA08 ,  2H088HA28 ,  2H088MA20 ,  2H092JA24 ,  2H092MA57 ,  2H092NA27 ,  2H092NA30 ,  2H092PA06 ,  2H092PA13 ,  5G435AA19 ,  5G435BB12 ,  5G435EE46 ,  5G435KK10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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