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J-GLOBAL ID：200903092402084739
ボロメータとその製法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992262336
Publication number (International publication number)：1993206526
Application date： Sep. 30, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：
【要約】【目的】 低コストな赤外線検出器。【構成】 或るスペクトル範囲内の放射を検出するボロメータを説明した。ボロメータが、集積回路基板122と、少なくとも1つのピラー124だけ、基板122から隔たった画素本体120とを含む。画素本体120は、例えば7乃至12ミクロンであってよいが、このスペクトル範囲内の放射を吸収する。例えばチタンの様な吸収材料132で構成される。吸収材132が、吸収された放射に比例する温度まで画素本体120を加熱する。吸収材132の上に絶縁材料134が形成される。更に、例えば不定形シリコンが考えられるが、画素本体120の温度に対応する電気抵抗を持つ可変抵抗材料136が、この絶縁層134の上に形成される。電流が、集積回路基板122と略平行に可変抵抗材料136の中を流れて検出される。この他の装置及び方法も説明した。
Claim (excerpt)：
或るスペクトル範囲内の放射を検出するボロメータに於て、集積回路基板と、該基板から少なくとも1つのピラーだけ隔たる画素本体とを有し、該画素本体は、前記スペクトル範囲内の放射を吸収し、吸収した放射に比例して前記画素本体を或る温度に加熱する吸収材料、該吸収材料の上に形成された絶縁材料、及び前記画素本体の温度に対応する電気抵抗を持つ可変抵抗材料で構成されており、前記可変抵抗材料には前記集積回路基板と略平行に電流が流れ、前記可変抵抗材料が前記絶縁層の上に形成されているボロメータ。
IPC (3)：
H01L 37/00
, G01J 1/02
, G01J 5/02
