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J-GLOBAL ID：200903092418283871

仕上げ研磨剤

Inventor： 宮下 直人 ,  土井 建治 ,  南 良宏 ,  加藤 寛 ,  林 和彦 ,  河野 博之
Applicant, Patent owner： 株式会社トクヤマ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997117045
Publication number (International publication number)：1998309660
Application date： May. 07, 1997
Publication date： Nov. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 水溶性セルロースと水溶性アミンを含む研磨剤において、研磨の再現性と研磨後のウェハの純度を向上させた研磨剤を提供する。【解決手段】 水溶性セルロースおよび20°Cにおける蒸気圧が133Pa以下の水溶性アミンの水溶液よりなり、該水溶性セルロース濃度をC重量%としたときのアルカリ金属元素の含有量が5Cppm以下となるように調整されたことを特徴とする仕上げ研磨剤である。

Claim (excerpt)：

水溶性セルロースおよび20°Cにおける蒸気圧が133Pa以下の水溶性アミンの水溶液よりなり、該水溶性セルロース濃度をC重量%としたときのアルカリ金属元素の含有量が5Cppm以下となるように調整されたことを特徴とする仕上げ研磨剤。

IPC (2)：

B24B 37/00 ,  C08B 11/20

FI (2)：

B24B 37/00 H ,  C08B 11/20