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J-GLOBAL ID：200903092423415468

ペリクル用フィルター及びその作製方法

Inventor： 松岡 卓 ,  樫田 周
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995346768
Publication number (International publication number)：1997160223
Application date： Dec. 13, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】【解決手段】 フィルター本体の一面に粘着層をリング状に形成すると共に、この粘着層を離型シートに接着してなり、使用時に上記離型シートを剥離除去し、ペリクル枠の気圧調整用通気孔を覆ってこのペリクル枠に上記粘着層を接着するペリクル用フィルターにおいて、上記離型シートに上記粘着層の中空部と連通する粘着性液体導入用孔を穿設したことを特徴とするペリクル用フィルター。【効果】 本発明によれば、フィルター本体の内面を効率よく簡単にかつ確実に粘着性液体で湿潤することができる。

Claim (excerpt)：

フィルター本体の一面に粘着層をリング状に形成すると共に、この粘着層を離型シートに接着してなり、使用時に上記離型シートを剥離除去し、ペリクル枠の気圧調整用通気孔を覆ってこのペリクル枠に上記粘着層を接着するペリクル用フィルターにおいて、上記離型シートに上記粘着層の中空部と連通する粘着性液体導入用孔を穿設したことを特徴とするペリクル用フィルター。

IPC (4)：

G03F 1/14 ,  B01D 29/01 ,  B01D 63/08 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 1/14 K ,  B01D 63/08 ,  B01D 29/04 510 D ,  H01L 21/30 502 P