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J-GLOBAL ID:200903092425364909

表面疵検出方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 細江 利昭
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996204523
Publication number (International publication number):1998048151
Application date: Aug. 02, 1996
Publication date: Feb. 20, 1998
Summary:
【要約】【課題】 個々の疵を分離して検出できるとともに、複数の画面に跨がる様々な形態の疵を正しく検出し判定するための方法を提供する。【解決手段】 帯状体の表面に光を照射し、その反射光を幅方向に配置された複数の受光器で捕らえて表面疵検出を行う方法において、ある視野の中で検出された疵の候補について、その視野内における疵の特徴量とともに、隣接する受光器の視野との境界における連結状況を示す情報を付加して、複数の視野の疵の情報により表面疵を検出する表面疵検出方法。同様に、長手方向に画面を区切って表面疵検査を行う方法において、ある画面の中で検出された疵の候補について、その画面内における疵の特徴量とともに、幅方向および長手方向に隣接する画面との境界a〜hにおける連結状況を示す情報を付加して、複数の画面の疵の情報により表面疵を検出する表面疵検出方法。
Claim (excerpt):
帯状体の表面に光を照射し、その反射光を幅方向に配置された複数の受光器で捕らえて表面疵検出を行う方法において、ある視野の中で検出された疵の候補について、その視野内における疵の特徴量とともに、隣接する受光器の視野との境界における連結状況を示す情報を付加して、複数の視野の疵の情報により表面疵を検出することを特徴とする表面疵検出方法。

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