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J-GLOBAL ID：200903092431260279

蒸着装置および蒸着方法

Inventor： 杉原 忠 ,  吉田 和史 ,  田中 尚生 ,  久芳 完治
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 桑井 清一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993191749
Publication number (International publication number)：1994093445
Application date： Jul. 05, 1993
Publication date： Apr. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 飛散粒子群の中で、所定範囲の運動エネルギを有し薄膜形成に最適なもののみを利用し、均質な成膜を得ることができる蒸着装置および蒸着方法を提供する。成膜のための制御を高度に行うことを可能とする。【構成】 エキシマレーザ11からパルス状のレーザビームをターゲット12に照射する。ターゲット12からの飛散粒子群は所定分布の運動エネルギ(速度)を有している。回転チョッパ13のスリット21によりこの粒子群のうちの一定範囲の速度を有する飛散粒子のみを基板27に堆積させる。質量分析計16により堆積する粒子の質量を測定し、測定値に基づいてスリット21の開き時間等をコントロールする。これにより高精度に均質な薄膜を生成することができる。

Claim (excerpt)：

被着体と、この被着体に対して所定間隔を有して配設され、その運動エネルギが所定範囲で分布し、それぞれが被着体に向かって飛散する飛散粒子群を発生させる飛散粒子発生手段と、これらの被着体と飛散粒子発生手段との間に介設され、一定範囲の運動エネルギを有する飛散粒子のみを通過させる制御手段と、を備えた蒸着装置において、上記被着体に蒸着する飛散粒子の質量を質量センサにより検出するとともに、この検出値に基づいて、上記制御手段は、通過する飛散粒子を制御することを特徴とする蒸着装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭64-039371