単量体、高分子化合物、感光性組成物、これを用いたパタン形成方法および電子部品の製造方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998260926
Publication number (International publication number)：1999171835
Application date： Aug. 31, 1998
Publication date： Jun. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】短波長光に対して透明性が優れ、かつ充分なドライエッチング耐性を有し、溶解性、アルカリ現像性の高い感光性組成物を提供する。【解決手段】下記化学式で表される繰り返し単位を有する高分子化合物と、光酸発生剤とを含有する感光性組成物である。【化1】(ここで、Rは脂環式骨格を有する基であり、R2 は同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、又は一価の有機基である。X1 はヘテロ原子を含む二価の有機基であり、jは〜3の整数である。R1 はSiを含有する一価の有機基である。)

Claim (excerpt)：

下記一般式(m-1)で表わされる単量体。【化1】(上記一般式(m-1)中、Rは脂環式骨格を有する基であり、R2 は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、または一価の有機基である。X1 は、ヘテロ原子を含む二価の有機基であり、jは0ないし3の整数である。R1 は、以下に示す群から選択される基である。 Siを含有する一価の有機基 (R1-1) -(X2 )k -R4 -(X3 )m -C(R6 )3 (R1-2)ここで、X2 およびX3 はヘテロ原子を含む二価の有機基であり、kおよびmは0ないし3の整数である。R4 は2価のアルキル基である。R6 は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子、ハロゲン原子または一価の有機基である。)

IPC (9)：

C07C 69/734 , C07C255/23 , C07D309/12 , C07F 7/12 , C07F 7/18 , C08F 20/10 , C08F 30/08 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (9)：

C07C 69/734 Z , C07C255/23 , C07D309/12 , C07F 7/12 L , C07F 7/18 F , C08F 20/10 , C08F 30/08 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

ビニル基を含有する単量体及びその重合体及びそれを用いた感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-280695 Applicant：日本電気株式会社
特開平3-294316
ビニルモノマー、重合体、フォトレジスト組成物、及びそれを用いたパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-203150 Applicant：日本電気株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering(Pt. 1, Advances in Resist, 1998, V3333, P102-110

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