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J-GLOBAL ID：200903092441380582

ゲッタ材料の賦活の低温トリガのための組合せ材料並びにそれを含有するゲッタ体乃至装置

Inventor： コラッツァ,アレッシオ ,  ボッフィト,クラウディオ
Applicant, Patent owner： サエス ゲッタース ソチエタ ペル アツィオニ
Agent (1)： 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997528357
Publication number (International publication number)：1999509037
Application date： Feb. 05, 1997
Publication date： Aug. 03, 1999
Summary：

【要約】ゲッタ合金とAg2O、CuO、MnO2、Co3O4乃至その混合物のうちから選択される1種以上の酸化物を含む組合せ材料が開示される。これら組合せ材料に希土類元素、イットリウム、ランタン乃至その組合せのうちから選択される金属と、銅、錫乃至その混合物とを含む合金から成る第3成分が随意的に添加されうる。ゲッタ材料の賦活は一般に350〜900°Cの温度を必要とするが、本発明の組合せ材料は約280〜500°Cの範囲の比較的低温で賦活することのできるゲッタ体乃至装置を作製するのに有用である。本発明の材料を含む幾種かのゲッタ体乃至装置もまた開示される。

Claim (excerpt)：

-蒸発型ゲッタ材料もしくは非蒸発型ゲッタ合金と、 -Ag2O、CuO、MnO2、Co3O4乃至その混合物のうちから選択される酸化物とを含むゲッタ材料賦活の低温トリガのための組合せ材料。

IPC (3)：

H01J 7/18 ,  B01J 3/00 ,  H01J 29/94

FI (3)：

H01J 7/18 ,  B01J 3/00 K ,  H01J 29/94