Pat

J-GLOBAL ID：200903092471292661

3-5族化合物半導体用電極材料

Inventor： 家近 泰 ,  福原 昇 ,  高田 朋幸 ,  小野 善伸
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994030068
Publication number (International publication number)：1995240508
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】一般式In<SB>x </SB>Ga<SB>y </SB>Al<SB>z </SB>N(ただし、x+y+z=1、0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で表されるn型の3-5族化合物半導体と低い接触抵抗を有する電極材料を提供する。【構成】一般式In<SB>x </SB>Ga<SB>y </SB>Al<SB>z </SB>N(ただし、x+y+z=1、0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で表されるn型の3-5族化合物半導体用電極材料であって、Al又はAl合金であることを特徴とする3-5族化合物半導体用電極材料。

Claim (excerpt)：

一般式In<SB>x </SB>Ga<SB>y </SB>Al<SB>z </SB>N(ただし、x+y+z=1、0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で表されるn型の3-5族化合物半導体用電極材料であって、Al又はAl合金であることを特徴とする3-5族化合物半導体用電極材料。

IPC (2)：

H01L 29/43 ,  H01L 21/28 301