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J-GLOBAL ID：200903092487947781

高調波出力安定化方法および紫外線レーザ装置並びにマーキング装置

Inventor： 堀口 昌宏 ,  出来 恭一
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Agent (1)： 長澤 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996312478
Publication number (International publication number)：1998153806
Application date： Nov. 22, 1996
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 非線形光学結晶の温度が上昇しても、高出力の高調波を安定に出力できるようにすること。【解決手段】 11〜13a,13bから構成されるレーザ装置から放出される光は2倍波結晶18aに入射し第2高調波に変換される。該第2高調波は、さらに、4倍波結晶18bに入射し上記第2高調波は第4高調波に変換される。4倍波結晶18bからの出力光はスキャンミラー2a.2bに入射し、スキャンミラー2a,2bはマーキング図形/文字パターンに応じて駆動され、ワークW上に所定の図形/文字パターンが描かれる。非線形光学結晶18bが出力する高調波光は検出器22により検出され、制御回路23は該高調波光が最大となるように、結晶駆動機構24により、入射レーザ光の光軸に対する非線形光学結晶18bの角度を制御する。

Claim (excerpt)：

非線形光学結晶にレーザ光を入射させ、該レーザ光の高調波光を得るに際し、上記非線形光学結晶が出力する高調波光を検出し、該高調波光が最大となるように、上記入射レーザ光の光軸に対する上記非線形光学結晶の角度を制御することを特徴とする高調波出力安定化方法。

IPC (3)：

G02F 1/37 ,  B23K 26/00 ,  H01S 3/108

FI (3)：

G02F 1/37 ,  B23K 26/00 B ,  H01S 3/108