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J-GLOBAL ID：200903092504338590

光導波路デバイス

Inventor： 清野 實 ,  中沢 忠雄 ,  山根 隆志 ,  久保田 嘉伸 ,  土居 正治 ,  菅田 邦男 ,  倉橋 輝雄
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 青木 朗 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992347156
Publication number (International publication number)：1993257105
Application date： Dec. 25, 1992
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 長期間に渡り安定に動作する定ことのできる光導波路デバイスを提供する。【構成】 電気光学結晶基板表面内に形成された光導波路と、前記光導波路上に形成されたバッファ層と、および前記バッファ層上に形成された前記光導波路の屈折率を変化させる電界を印加するための駆動電極とを含み、前記バッファ層が酸化シリコンと周期律表の三〜八族、一b族および二b族の金属元素およびシリコンを除く半導体元素から選ばれる1種またはそれ以上の元素の酸化物の少なくとも1種との混合物またはシリコンと前記金属元素および半導体元素から選ばれる1種またはそれ以上の元素との酸化物の透明絶縁体からなる。

Claim (excerpt)：

電気光学結晶基板表面内に形成された光導波路と、前記光導波路上に形成されたバッファ層と、および前記バッファ層上に形成された前記光導波路の屈折率を変化させる電界を印加するための駆動電極とを含み、前記バッファ層が酸化シリコンと周期律表の三〜八族、一b族および二b族の金属元素およびシリコンを除く半導体元素から選ばれる1種またはそれ以上の元素の酸化物の少なくとも1種との混合物、またはシリコンと前記金属元素および半導体元素から選ばれる1種またはそれ以上の元素との酸化物の透明絶縁体からなることを特徴とする光導波路デバイス。

IPC (2)：

G02F 1/035 ,  G02B 6/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-019714
  
• 特開平4-346310