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J-GLOBAL ID：200903092505440118

集積回路装置の故障解析装置及び故障解析方法

Inventor： 辻出 徹 ,  中村 豊一 ,  二川 清
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 桑井 清一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992090187
Publication number (International publication number)：1993107322
Application date： Mar. 16, 1992
Publication date： Apr. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明の目的は短時間に故障発生場所を特定できる集積回路の故障解析方法を提供する。【構成】 本発明の故障解析方法はLSIのマスク作製のために使われたレイアウトデータをEBテスタのコンピュータの中に貯えておき、これをCRTに出力しモニタ図をナビゲーションとして用いながら、EBの電位コントラスト像の観測場所を変えてゆくことで故障解析をする。また、配線レイアウトデータから観測領域にある配線上の点照射場所を決め、この点照射情報の良品,不良品の差をとってから、この故障情報を配線像に重畳する。

Claim (excerpt)：

互いに表面からの深さの異なる複数の配線を含む集積回路装置に電子ビームを照射する電子ビーム発生器と、電子ビーム照射時に集積回路装置で発生する2次電子線を検出する検出器と、電気ビームの集積回路装置上の照射位置を制御する位置制御手段とを含む集積回路装置の故障解析装置において、上記2次電子線の強度差に基づき上記複数の配線の表面からの深さの差を判断し該判断結果に基づき表面からの深さの差を示す配線パターンをモニタ画面上に表示することを特徴とする集積回路装置の故障解析装置。

IPC (2)：

G01R 31/302 ,  H01L 21/66