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J-GLOBAL ID：200903092539231852
ペリクル膜の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992352045
Publication number (International publication number)：1994175358
Application date： Dec. 09, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は常法により基板上に成膜したペリクル膜をペリクル枠フレームに接着後に、基板からペリクル膜を剥離して清浄なペリクル膜を製造する方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明のペリクル膜の製造方法は、ペリクル膜の基板からの剥離工程を水蒸気中の雰囲気で行なうことを特徴とするものである。
Claim (excerpt)：
ペリクル膜の基板からの剥離工程を水蒸気中の雰囲気で行なうことを特徴とするペリクル膜の製造方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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