粒子測定装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：野河信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003409214
Publication number (International publication number)：2005172465
Application date： Dec. 08, 2003
Publication date： Jun. 30, 2005
Summary：

【課題】微細な粒子の測定を可能とする粒子測定装置。【解決手段】測定する粒子を通過させるフローセルと、レーザ共振器を有し誘導放出によりレーザ共振の1次および高次モード波長を含むレーザ光を出射するレーザ発光部と入射するレーザ光の1次モード波長に対応する波長を選択して共振光を出射する第1外部光共振器とレーザ共振器からのレーザ光の一部を第1外部光共振器へ入射させ、第1外部光共振器からの共振光をレーザ共振器へ再入射させる光学系とを含む光源部と、2つの反射鏡を同軸上に対向させて配置し、その軸と一致するように一方の反射鏡の背面から入射させた光源部からのレーザ光が前記反射鏡間を往復し、その光路が前記粒子を照射するように構成された第2外部光共振器とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

測定する粒子を通過させるフローセルと、レーザ共振器を有し誘導放出によりレーザ共振の1次および高次モード波長を含むレーザ光を出射するレーザ発光部と入射するレーザ光の1次モード波長に対応する波長を選択して共振光を出射する第1外部光共振器とレーザ共振器からのレーザ光の一部を第1外部光共振器へ入射させ、第1外部光共振器からの共振光をレーザ共振器へ再入射させる光学系とを含む光源部と、 2つの反射鏡を同軸上に対向させて配置し、その軸と一致するように一方の反射鏡の背面から入射させた光源部からのレーザ光が前記反射鏡間を往復し、その光路が前記粒子を照射するように構成された第2外部光共振器とを備える粒子測定装置。

IPC (2)：

G01N15/14 , G01N21/47

FI (2)：

G01N15/14 P , G01N21/47 Z

F-Term (8)：

2G059AA05 , 2G059BB01 , 2G059CC19 , 2G059EE02 , 2G059GG01 , 2G059JJ14 , 2G059KK01 , 2G059LL04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

特公平6-21860号公報

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