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J-GLOBAL ID：200903092572522340

基板搬送方法

Inventor： 勝目 智弘 ,  原 典彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996105279
Publication number (International publication number)：1997293767
Application date： Apr. 25, 1996
Publication date： Nov. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】 何らかの障害で露光装置が停止した場合にも各基板を所定の順序で正しく搬送することが可能な基板搬送方法を提供する。【解決手段】 基板が露光装置の最初のステーションP1に搬送されたときその基板に管理番号1を付与し、基板が最初のステーションに搬送されるごとに他のステーションに存在する各基板の管理番号を1だけ増分させる。ステーションに存在する基板の管理番号1〜3並びにその基板が最前に通過したステーションSa〜Seをステーションごとに設けた記憶領域Ma〜Meに記憶する。このような構成では、露光装置内の基板の順番の管理並びに次に進むべきステーションを確実に把握することができ、装置停止時の復旧を迅速に行うことが可能になり生産性が向上する。

Claim (excerpt)：

管理番号が付される基板を露光装置内の複数のステーションを所定の順序に通過させて搬送する基板搬送方法において、基板が露光装置の最初のステーションに搬送されたときその基板に所定の管理番号を付し、基板が最初のステーションに搬送されるごとに他のステーションに存在する各基板の管理番号を所定量変化させ、ステーションに存在する基板の管理番号並びにその基板が最前に通過したステーションをステーションごとに設けた記憶領域に記憶することを特徴とする基板の搬送方法。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027

FI (3)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/02 A ,  H01L 21/30 502 J