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J-GLOBAL ID：200903092594587755

平行移動装置およびこれを用いた露光装置のレンズ移動装置

Inventor： 小山内 英司
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993037421
Publication number (International publication number)：1994226570
Application date： Feb. 02, 1993
Publication date： Aug. 16, 1994
Summary：

【要約】【目的】 移動台の移動量を高精度で制御できるうえに、加工コストが低く給油も必要としない平行移動装置を実現する。【構成】 固定台2は図示上面に静圧軸受パッド6aを有し、移動台1は静圧軸受パッド6aに対向し、かつこれに対して傾斜した静圧軸受パッド6bを有する。固定台2と移動台1の間にはX方向に楔形の断面を有する駆動板4が配設され、その両面はそれぞれ移動台1の静圧軸受パッド6bと固定台2の静圧軸受パッド6aに平行であり、これらによって非接触で支持されている。アクチュエータ5によって駆動板4を前記方向に移動させると、移動台1は固定台2に対して平行状態を保ちつつ接近または離間する。

Claim (excerpt)：

第1の静圧軸受手段によって固定台に非接触で支持された第1の表面と、これに対して傾斜した第2の表面を有する駆動板と、該駆動板を前記固定台に沿って移動させる駆動手段と、第2の静圧軸受手段によって前記駆動板の前記第2の表面に非接触で支持された移動台と、該移動台を前記固定台に対して接近および離間自在に支持する支持手段と、前記移動台を前記駆動板とともに前記固定台に向って付勢する付勢手段を有し、前記固定台および前記移動台のそれぞれの前記駆動板に対向する側の表面が、前記駆動板の前記第1および前記第2の表面とそれぞれ平行であることを特徴とする平行移動装置。

IPC (8)：

B23Q 1/02 ,  G02B 7/00 ,  G02B 7/04 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/34 ,  G03F 7/207 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3)：

G02B 7/04 Z ,  H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-063649
  
• 特開昭62-208839
  
• 特開平1-193133