Pat

J-GLOBAL ID：200903092599797103

磁気記録媒体、磁気記録膜形成用ターゲツト及び磁気記録膜形成法

Inventor： 佐川 眞人 ,  元木 龍太郎 ,  船越 淳 ,  西 隆 ,  遠藤 功 ,  奥村 善信 ,  楊 興波
Applicant, Patent owner： インターメタリックス株式会社 ,  株式会社クボタ
Agent (1)： 宮崎 新八郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993022022
Publication number (International publication number)：1994215941
Application date： Jan. 14, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 磁気記録媒体の記録密度を高めるための磁性膜のノイズ特性、保磁力の向上【構成】 磁気記録膜として、Nd2 Fe14B型結晶構造を有する硬磁性化合物の微細結晶粒が、Coを主成分をする軟磁性化合物からなるマトリツクス中に緻密に分散してなる微細混相組織の磁性膜体を形成する。その磁性膜は、 T100-u-v Ru Xv〔T:鉄族遷移金属元素(Co,Ni、またはFe)、R:希土類元素、X:B、C 、u:0.5〜9%、v:5〜25%、Tは、Coを必須元素とし、T全体に対するCo量は50%以上、Rは、Pr,Nd,Tb,Dyの1種ないし2種以上を必須元素とし、R全体に占めるR1 量は30%以上、Xは、Bを必須元素とし、X全体に占めるB量は5%以上〕の化学組成を有するターゲツトをスパツタリングし、蒸着膜を結晶化することにより形成される。

Claim (excerpt)：

磁気記録膜として、Nd2 Fe14B型結晶構造を有する硬磁性化合物の微細粒が、Coを主成分とする軟磁性化合物からなるマトリツクス中に緻密に分散してなる微細混相組織の磁性膜体を有することを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (5)：

H01F 10/16 ,  C23C 14/34 ,  G11B 5/66 ,  G11B 5/85 ,  H01F 41/18