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J-GLOBAL ID：200903092607257563

フィルム厚の測定方法及び装置

Inventor： ロナルド・ヴィー・アルブス ,  ウエイン・ヴィー・ソリン ,  スティーブン・エー・ニュートン
Applicant, Patent owner： ヒューレット・パッカード・カンパニー
Agent (1)： 上野 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996224835
Publication number (International publication number)：1997119814
Application date： Aug. 27, 1996
Publication date： May. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】透明、不透明フィルムの厚さや群屈折率を簡単かつ正確に測定する。【解決手段】上部表面及び下部表面を備えたフィルム(15)の厚さを測定するための装置において、低コヒーレント光源(12)から第1、第2のプローブ光信号を発生しフィルムの両表面に送り、かつそれら表面から反射する光を集めるための手段(13、14)と、反射光を部分的に反射して、それぞれの表面に向かって戻すための上部及び下部基準表面(13、14の端部)を設ける。上部表面及び下部表面から集めた光を結合して、上部表面及び上部基準表面から反射した光と、下部表面及び下部基準表面から反射した光の間における時間遅延を求めるための受信器(18)を備える。

Claim (excerpt)：

上部表面及び下部表面を備えたフィルムの厚さを測定するための装置において、低コヒーレント光源から第1のプローブ光信号及び第2のプローブ光信号を発生するための手段、前記上部表面に向かって前記第1のプローブ光信号を送り、前記上部表面を出る光を集めるための手段と、前記上部表面を出る光を部分的に反射して、前記上部表面に向かって戻すための上部基準表面と、前記下部表面に向かって第2のプローブ光信号を送り、前記下部表面を出る光を集めるための手段と、前記下部表面を出る光を部分的に反射し、前記下部表面に向かって戻すための下部基準表面と、前記上部表面及び下部表面から集めた前記光を結合して、集光信号を形成するための結合手段と、前記集光信号を受信して、前記上部表面及び前記上部基準表面から反射した光と、前記下部表面及び前記下部基準表面から反射した光の間における時間遅延を求めるための受信器を備えた、測定装置。

IPC (3)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/41 ,  G01N 21/55

FI (3)：

G01B 11/06 G ,  G01N 21/41 Z ,  G01N 21/55

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特開昭58-075005
  
• 特開昭64-003534
  
• 特開平4-120404
  
• 特開平2-167411