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J-GLOBAL ID：200903092611490469

スラリー供給装置

Inventor： 宇都 満義
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999335179
Publication number (International publication number)：2001150346
Application date： Nov. 25, 1999
Publication date： Jun. 05, 2001
Summary：

【要約】【課題】 スラリーの凝集を防止し、研磨疵の発生を抑制することができるスラリー供給装置を提供する。【解決手段】 スラリーを供給するスラリー供給ユニット1の入口及び出口にスラリーを循環させるスラリー循環ライン2が接続されている。循環ライン2内のスラリーはポンプ6により循環駆動されているが、循環ライン2にはスラリーに超音波を照射する超音波発振器3が接続されており、これにより、循環ライン2内のスラリーに超音波を照射すると、大きな凝集粒子の結合が解かれ、スラリー粒子は微小な粒子になる。この微小な粒子を含むスラリーはフィルタ4により濾過された後、CMP装置5に供給される。

Claim (excerpt)：

スラリーを供給するスラリー供給ユニットと、前記スラリー供給ユニットの入口及び出口に接続されて前記スラリーを循環させるスラリー循環ラインと、前記スラリー循環ライン内のスラリーを駆動する第1ポンプと、前記スラリー循環ライン内のスラリーに超音波を照射する超音波発振器と、前記スラリー循環ラインとスラリー使用源との間に接続された配管と、前記配管を介して前記スラリー循環ラインから前記スラリーを導出する第2ポンプと、を有することを特徴とするスラリー供給装置。

IPC (3)：

B24B 57/02 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (3)：

B24B 57/02 ,  B24B 37/00 K ,  H01L 21/304 622 E

F-Term (8)：

3C047FF08 ,  3C047GG15 ,  3C047GG17 ,  3C047GG20 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17