Pat

J-GLOBAL ID：200903092652444773

ECR装置

Inventor： 加藤 裕史 ,  浅地 豊久
Applicant, Patent owner： 富山県 ,  立山マシン株式会社
Agent (1)： 廣澤 勲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003301662
Publication number (International publication number)：2005072363
Application date： Aug. 26, 2003
Publication date： Mar. 17, 2005
Summary：

【課題】 効率的に高エネルギーのプラズマや多価イオンを生成させることができるECR装置を提供する。【解決手段】 金属円筒状のチャンバ12の側方に配置された電磁石20,21と、チャンバ12内にマイクロ波を導くアンテナ26とを備える。共振器としてのチャンバ12の中心軸方向両側に、マイクロ波のTE01モードの管内波長のn/2(nは自然数)倍の間隔を隔てて、マイクロ波を遮蔽する遮蔽部材22,23を設ける。チャンバ12内の中心軸方向でマイクロ波によるTE01モードでの電界強度の値がほぼ最大となる位置に、アンテナ26を設置する。チャンバ12内での電磁石20,21による外部磁界の磁力線の向きと、チャンバ12内のマイクロ波によるTE01モードの電界の向きがほぼ直交する位置であって、チャンバ12内のTE01モードでの電界強度の値がほぼ最大となる位置で、チャンバ12内での外部磁界の強さがECR条件にほぼ合致するように、電磁石20,21を設定する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

金属円筒状のチャンバと、このチャンバの側方に配置され上記チャンバ内に磁場を形成する磁石と、上記チャンバ内にマイクロ波を導くアンテナとを備え、上記チャンバを共振器としてそのチャンバ内に電子サイクロトロン共鳴によるプラズマを発生させるECR装置において、 上記チャンバ内で上記チャンバの中心軸方向両側に上記マイクロ波のTE01モードの管内波長のn/2(nは自然数)倍の間隔を隔てて、上記マイクロ波を遮蔽する遮蔽部材を設け、上記チャンバ内のマイクロ波の電磁界モードのうち、上記チャンバ中心軸方向のTE01モードの電界強度の定在波の分布の中で、電界強度がほぼ最大となる位置に上記アンテナを設置し、上記チャンバ内での上記磁石による外部磁界の磁力線の向きと上記チャンバ内の上記マイクロ波によるTE01モードの電界の向きがほぼ直交する位置であって、上記チャンバ内のTE01モードでの電界強度の値がほぼ最大となる位置で、上記磁石による上記チャンバ内での外部磁界の強さがECR条件にほぼ合致するように上記磁石を設定したことを特徴とするECR装置。

IPC (3)：

H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H05H1/46

FI (3)：

H01L21/302 101D ,  H01L21/31 C ,  H05H1/46 C

F-Term (14)：

4K030JA15 ,  4K030KA30 ,  4K030KA34 ,  5F004BA14 ,  5F004BB07 ,  5F004BB14 ,  5F004BD03 ,  5F004BD04 ,  5F004CA08 ,  5F004DA23 ,  5F045AA08 ,  5F045EH02 ,  5F045EH17 ,  5F045EH19

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開平1-197999号公報
  
• 特開平4-355915号公報