有機材料の特性評価方法および特性評価装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：川野宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004079879
Publication number (International publication number)：2005265673
Application date： Mar. 19, 2004
Publication date： Sep. 29, 2005
Summary：

【課題】有機-金属界面の相互作用による影響、および有機材料の膜表面の変質による影響を排除して、正確に、有機材料の電気的特性の評価を行ない得る有機材料の特性評価方法および特性評価装置を得る。【解決手段】真空容器1内に設定した素子試料3の透明電極に、ソースメータ13内の電源により正の電圧vを印加するとともに、電子ビームが被測定有機薄膜上に照射されるよう電子銃2の設定を行なう。電子銃2のカソードは接地される。この印加電圧vを走査するとともに、各電圧値に応じて変化する上記透明電極からの電流値をソースメータ13により測定する。また、電子ビームの照射とともに、素子試料3の裏面側(透明基板側)に集光レンズ系11からの光ビームを入射せしめることにより、素子試料3に光を照射したときの被測定有機薄膜の印加電圧-電流特性を得る。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

有機材料を含む有機薄膜の電気的特性を評価する方法において、透明基板上に透明電極と被測定有機薄膜をこの順に積層した試料と、該被測定有機薄膜と対向するように位置せしめた電子銃とを、真空容器内に配設し、前記電子銃からの電子ビームを前記被測定有機薄膜上に照射することにより得られた測定結果に基づき該被測定有機薄膜の電気的特性を評価することを特徴とする有機材料の特性評価方法。

IPC (2)：

G01N21/62 , G01N27/416

FI (2)：

G01N21/62 A , G01N27/46 U

F-Term (7)：

2G043AA03 , 2G043CA07 , 2G043EA11 , 2G043GA08 , 2G043GB11 , 2G043GB21 , 2G043HA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

有機ELディスプレイの評価装置および評価方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-150106 Applicant：ティーディーケイ株式会社
カソードルミネッセンス複合装置および該複合装置を用いた測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-203643 Applicant：株式会社東レリサーチセンター
表示装置及び表示装置製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-145159 Applicant：日本放送協会

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