感光性樹脂組成物

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994067591
Publication number (International publication number)：1995248621
Application date： Mar. 11, 1994
Publication date： Sep. 26, 1995
Summary：

【要約】【目的】高解像度を示し、かつライン幅30μm以下の細線密着性に優れ、パターン形成性にも優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】酸価が100〜200mgKOH/gで重量平均分子量が30000〜120000のベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、P,P′-ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン(C)、ヘキサアリールビイミダゾール(D)及びロイコ染料(E)を含んでなる樹脂組成物において、(A)と(B)の合計100重量部に対して(C)を0.01〜0.25重量部、(D)を1.0〜10重量部、(E)を0.05〜2重量%含有し、かつ(B)成分が重合性不飽和基を2個有してなるエチレン性不飽和化合物を95重量%以上含有する。

Claim (excerpt)：

酸価が100〜200mgKOH/gで重量平均分子量が30000〜120000のベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、P,P′-ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン(C)、ヘキサアリールビイミダゾール(D)及びロイコ染料(E)を含んでなる樹脂組成物において、(A)と(B)の合計100重量部に対して(C)を0.01〜0.25重量部、(D)を1.0〜10重量部、(E)を0.05〜2重量%含有し、かつ(B)成分が重合性不飽和基を2個有してなるエチレン性不飽和化合物を95重量%以上含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/004 507 , G03F 7/004 512 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , H05K 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平2-048664
特開平2-048664
特開平3-200804

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