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J-GLOBAL ID：200903092829937538
傾斜回転ブレード及び切削方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐々木 功 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997037469
Publication number (International publication number)：1998230516
Application date： Feb. 21, 1997
Publication date： Sep. 02, 1998
Summary：
【要約】【課題】本発明は、例えば、半導体ウェーハやLEDプリンター用ヘッド等の被加工物を切削する回転ブレードに関し、回転ブレードの交換の手間を省き作業能率を向上させることにある。【解決手段】ダイシング装置等の精密切削装置のスピンドル8に装着される回転ブレード20であって、該回転ブレードの切り刃15の延在する方向は回転軸心19の垂直方向に対して僅かに傾斜している傾斜回転ブレードにしたことである。
Claim (excerpt)：
ダイシング装置等の精密切削装置のスピンドルに装着される回転ブレードであって、該回転ブレードの切り刃の延在する方向は回転軸心の垂直方向に対して僅かに傾斜していること、を特徴とする傾斜回転ブレード。
IPC (3)：
B28D 5/02
, B24B 27/06
, H01L 21/301
B28D 5/02 A
, B24B 27/06 J
, H01L 21/78 F
Cited by examiner (6)
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