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J-GLOBAL ID：200903092863259697

クラスターイオン種のソフトランディング方法

Inventor： 茅 幸二 ,  中嶋 敦 ,  小原 通昭
Applicant, Patent owner： 学校法人慶應義塾
Agent (8)： 韮澤 弘 ,  阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  白井 博樹 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  米澤 明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002336830
Publication number (International publication number)：2004169129
Application date： Nov. 20, 2002
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：

【課題】室温近くの比較的高温でクラスターを安定に保持し、V2 Bz3 等の一次元多層サンドイッチ構造を持つクラスターを解離することなく堆積させることができるクラスターイオン種のソフトランディング方法。【解決手段】基板11上に自己組織化単分子膜13を形成した後、質量選別したクラスターイオン種14をその基板11上に蒸着すると、自己組織化単分子膜13の分子鎖12がクラスターイオン種14の運動エネルギーを分子内振動、分子間振動等により吸収してバッファとなり、V1 Bz2 、V2 Bz3 のようなクラスターイオン種を高速で蒸着してもその解離する割合が小さくなり、高収率で堆積させることが可能になる。室温近くの比較的高温にしてもその固定されたクラスターを安定に保持することができる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板上に自己組織化単分子膜を形成した後、質量選別したクラスターイオン種を前記基板上に蒸着することを特徴とするクラスターイオン種のソフトランディング方法。

IPC (1)：

C23C14/24

FI (1)：

C23C14/24 S

F-Term (4)：

4K029AA02 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029HA00