ワークピースを保持する双極静電チャック及び装置と方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997117686
Publication number (International publication number)：1998098092
Application date： May. 08, 1997
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】チャックがワークピースに与える静電力をバランスさせる装置を備えた静電チャック及びそれに伴う方法を提供する。【解決手段】この静電チャック100は、一対の埋め込まれた共面電極と、チャック体110の支持面に堆積された複数の導電性支持部材120-120を含むウェハ離間用マスク102を備える。この支持部材は、チャック体の支持面に対して離間した関係で、ウェハ又は別のワークピースを保持する。チャック内の各電極は、中心タップを有する2電源の端子にそれぞれ接続される。電源128の中心タップは、ウェハ離間用マスク102に接続される。このようにして、誘電体厚さ、ウェハ裏面粗さ、チャック面粗さ、チャック面導電性の変化、又は静電力を変化させる別の物理的な差異によるウェハと電極の間の距離の変動が、電源の中心タップに接続された離間用マスクを有することによってバランスされる。

Claim (excerpt)：

ワークピースを保持する双極静電チャックであって、少なくとも2つの電極を備えた、表面をもつチャック体と、前記チャック体の前記表面上にある導電性材料のウェハ離間用マスクとを備え、前記ウェハ離間用マスクが、電源に接続するように構成されていることを特徴とする双極静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

FI (3)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02N 13/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

静電吸着力除去方法および静電吸着装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-235956 Applicant：株式会社日立製作所
特開昭62-287950
特開平4-367246

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