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J-GLOBAL ID:200903092912435439

非金属介在物測定における異物検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 奈良 繁
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997009946
Publication number (International publication number):1998206341
Application date: Jan. 23, 1997
Publication date: Aug. 07, 1998
Summary:
【要約】【課題】 ゴミや穴などを非金属介在物から識別する。【解決手段】 試料の表面に上方と斜方から同時に、またはそれぞれ別々に、かつ時間を変えて照明し、得られた濃淡画像の粒子を2値化した第1画像と、この粒子のうち光る部分を2値化した第2画像とを生成し、第1画像に表れる第1粒子と、第2画像に表れる第1粒子に対応した第2粒子について、第1粒子の面積a1と第2粒子の面積a2との比a2/a1が第1判定値T1以上である場合、この第1粒子をゴミと判定する。
Claim (excerpt):
試料の表面に上方と斜方とから同時に照明する照明手段と、この照明の反射光を撮像する撮像手段と、この撮像した画像の濃淡画像を得る濃淡画像生成手段と、この濃淡画像に表れる粒子を2値化した第1画像とこの粒子のうち光る部分を2値化した第2画像とを得る2値化手段と、前記第1画像に表れる第1粒子と前記第2画像に表れる第1粒子に対応した第2粒子について、第1粒子の面積a1と第2粒子の面積a2との比a2/a1が第1判定値T1に対してa2/a1≧T1の場合、第1粒子をゴミと判定する粒子判定手段と、を備えたことを特徴とする非金属介在物測定における異物検出装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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