Pat

J-GLOBAL ID：200903092914164769

X線断層面検査装置

Inventor： 芝田 健治 ,  西村 成生 ,  松下 由之
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999140328
Publication number (International publication number)：2000046760
Application date： May. 20, 1999
Publication date： Feb. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 X線断層面検査装置において鮮明なX線画像を得る。【解決手段】 被検出体6に対してX線を照射するX線源と、被検出体上のX線の照射位置を変更するX線照射位置変更機構(走査X線源2あるいは被検出体移動機構)と、被検出体を挟んでX線源と対向配置し、被検出体を透過した透過X線を検出するX線平面センサ7と、X線照射位置変更機構によって変更したX線の各照射位置においてX線平面センサが検出した透過X線により得られる複数の画像データを合成して、被検出体の任意断層面の画像を生成する画像処理手段8とを備える構成とする。透過X線を検出するX線検出手段として1つのX線平面センサ7を用いることによって、受像系において回転や上下動作のための駆動機構を不要として、断層面の高さ精度を向上させると共に簡易な構造で、高い鮮明度のX線画像を得る。

Claim (excerpt)：

被検出体に対してX線を照射するX線源と、被検出体上のX線の照射位置を変更するX線照射位置変更機構と、被検出体を挟んでX線源と対向配置し、被検出体を透過した透過X線を検出するX線平面センサと、X線照射位置変更機構によって変更したX線の各照射位置においてX線平面センサが検出した透過X線により得られる複数の画像データを合成して、被検出体の任意断層面の画像を生成する画像処理手段とを備える、X線断層面検査装置。

IPC (3)：

G01N 23/04 ,  G01N 23/18 ,  H05K 3/34 512

FI (3)：

G01N 23/04 ,  G01N 23/18 ,  H05K 3/34 512 B