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J-GLOBAL ID：200903092914612770

斜出射X線回折測定用試料ホルダ及びこれを用いた斜出射X線回折測定装置、並びに、これを用いた斜出射X線回折測定方法

Inventor： 高田 一広 ,  野間 敬
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 金田 暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999325345
Publication number (International publication number)：2001141674
Application date： Nov. 16, 1999
Publication date： May. 25, 2001
Summary：

【要約】【課題】 斜出射X線回折測定を行う場合において、装置を大型化させることなく簡易な方法で試料周辺の空気散乱を低減させることにより、所望のS/B比を有する回折パターンを測定する。【解決手段】 斜出射X線回折測定用試料ホルダ15が、試料3を内部に保持する容器14と、容器14の内部の雰囲気を制御するための雰囲気制御手段13とから構成され、容器14には、一次X線4を透過させて試料3に入射させるためのX線入射窓11及び回折X線を透過させて外部に出射させるためのX線出射窓12とが互いに分離して形成される。斜出射X線回折測定を行う場合は、試料3が保持された容器14内の雰囲気が雰囲気制御手段13により制御された状態で、X線源9から一次X線4が放射され、試料3にて回折された回折X線5の検出・記録がX線検出器6にて行われて試料3の回折パターンが測定される。

Claim (excerpt)：

試料の表面に一次X線を入射し、該一次X線が試料の表面にて回折された回折X線の出射方向を試料の表面に対して予め決められた角度よりも小さな角度に規定し、該回折X線の、前記一次X線の入射方向に対する出射角度及びX線強度を測定する斜出射X線回折測定に用いられる斜出射X線回折測定用試料ホルダであって、前記試料を内部に保持可能に構成され、かつ、前記一次X線を透過させて内部に保持された前記試料に入射させるためのX線入射窓と前記回折X線を透過させて外部に出射させるためのX線出射窓とが互いに分離して形成された容器と、前記容器の内部の雰囲気を制御するための雰囲気制御手段とを有することを特徴とする斜出射X線回折測定用試料ホルダ。

F-Term (17)：

2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA08 ,  2G001EA09 ,  2G001FA08 ,  2G001GA13 ,  2G001JA14 ,  2G001KA01 ,  2G001KA08 ,  2G001MA05 ,  2G001PA07 ,  2G001QA02 ,  2G001QA10 ,  2G001SA10