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J-GLOBAL ID：200903092954442320

感光性組成物

Inventor： 落合 為一 ,  高橋 徳明 ,  石黒 朋代
Applicant, Patent owner： 三菱化成株式会社
Agent (1)： 長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991194444
Publication number (International publication number)：1993034903
Application date： Aug. 02, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、架橋剤及び塗布溶媒として下記式〔I〕で示される化合物を含有してなるネガ型感光性組成物。 R1 -〔OCH(CH3 )CH2 〕m -OR2 ・・・・〔I〕(式中、R1 及びR2 はアセチル又はC1 〜C4 アルキルを、mは1又は2を示す。)【効果】 本発明の感光性組成物は、毒性の問題がなく、保存安定性が良好で、しかも解像性に優れ極めて有用である。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤及び溶媒として下記式〔I〕で示される化合物を含有することを特徴とするネガ型感光性組成物。 R1 -〔OCH(CH3 )CH2 〕m -OR2 ・・・・〔I〕(式中、R1 及びR2 は夫々独立してアセチル基又はC1 〜C4 アルキル基を示し、mは1又は2を示す。)

IPC (5)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 502 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

• 特開平3-152543
  
• 特開平2-154266
  
• 特開昭62-038448
  
• 特開平3-033747
  
• 特開平4-367865
  
• 特開平4-367864
  
• 特開平4-163552
  
• 特開平4-158362