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J-GLOBAL ID：200903092958249753

小型コイルとその製造方法,磁気ヘツドの製造方法及び磁気記憶装置

Inventor： 加藤 隆
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991209676
Publication number (International publication number)：1993055043
Application date： Aug. 22, 1991
Publication date： Mar. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 薄膜技術により製造される小型コイルに関し,薄膜集積回路への組み込みが容易な小型コイルを提供することを目的とする。。【構成】 基板1上に絶縁層7a〜7cを挟んで重層されたワンターンコイル2をビアホール5により接続して螺旋としたコイルであって,ワンターンコイル2エッチングで形成され,その切断部の両端に同一回転方向順に設けられた入力端3a〜3c及び出力端4a〜4cは,それぞれその下のワンターンコイルの出力端及びその上のワンターンコイルの入力端とビアホール5により電気的に接続して構成し,及び,基板上に形成されたコイルであって,薄膜をエッチングして形成した下層導電体線の一つから第一ビアホール,薄膜をエッチングして形成した上層導電体線,第二ビアホールを通り該下層導電体線の一つに隣接する他の一つの下層導電体線に至るループを一ピッチとして構成する。

Claim (excerpt)：

基板(1)上に絶縁層(7a,7b,7c)を挟んで重層されたワンターンコイル(2)をビアホール(5)により接続して螺旋としたコイルであって,該ワンターンコイル(2)は,基板(1)上に堆積された導電体薄膜をエッチングして形成され,該ワンターンコイル(2)の入力端(3a,3b,3c)及び出力端(4a,4b,4c)は,該ワンターンコイル(2)の切断部の両端に該ワンターンコイル(2)の全てについて同一回転方向順に設けられ,該ワンターンコイル(2)は,該ワンターンコイル(2)の入力端(3b,3c)が該ワンターンコイル(2)の直下に隣接する他のワンターンコイルの出力端(4a,4b)と重なるように設置され,該ワンターンコイル(2)の入力端(3b,3c)と該直下に隣接する他のワンターンコイルの出力端(4a,4b)とがビアホール(5)により電気的に接続されていることを特徴とする小型コイル。

IPC (2)：

H01F 17/00 ,  H01F 3/02