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J-GLOBAL ID：200903092962143439
ワークピースの支持チャックの支持面に離間してワークピースを支持する装置及び離間マスクの製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997051255
Publication number (International publication number)：1997327188
Application date： Mar. 06, 1997
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：
【要約】【課題】ワークピース支持チャックに離間してワークピースを支持するためのウェハ離間マスクを得ること。【解決手段】このウェハ離間マスクは、チャック本体108の支持面上に堆積された複数の金属支持部材112を有する。この支持部材は、チャックの支持面に離間してウェハ116、或いは他のワークピースをを保持しする。ウェハの裏面とチャック間の距離は支持部材112の厚さによって規定される。この距離は、チャックの表面上にある汚染粒子110の予期された直径より大きくなければならない。このようにすれば、汚染粒子は、処理中にウェハの裏面に付着することがない。
Claim (excerpt)：
ワークピースの支持チャックの支持面に離間してワークピースを支持するための装置であって、離間マスクを備え、前記離間マスクが金属材料から製造される場合、前記ワークピースの支持チャックの支持面上に堆積され、前記支持面に離間して前記ワークピースを支持することを特徴とする装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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