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J-GLOBAL ID：200903092982542658

微細パタン投影露光装置

Inventor： 為近 恵美 ,  小松 一彦 ,  松尾 誠太郎 ,  竹内 良亘 ,  原田 勝征 ,  三村 義昭
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991218098
Publication number (International publication number)：1993041342
Application date： Aug. 05, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 開口絞りによる光強度低下を防ぎ、かつ位置合わせも容易に限定方向斜入射を実現する。【構成】 マスクを照明する光線を投影レンズの開口数に対応した角度だけ傾ける手段として、例えば光ファイバ4もしくはコーンレンズを用いる。これと同時に特定の一方向または有限個の複数の方向から照明する手段として、特殊開口絞り6を用いる。これにより、光ファイバ4やコーンレンズを用いて光源の有効半径を広げるとともに、光強度を周辺部あるいは周辺部内のいくつかの領域に集中させ、その後方に所望の形の特殊開口絞りを挿入することにより、開口絞りによる光強度を防止できる。さらに限定方向斜入射により、光学素子を挿入することなくLSIパタンに適した解像度の向上がはかれる。

Claim (excerpt)：

物面マスク上のパタンを投影光学系を介してウエハ上に投影露光する投影露光装置において、マスクを照射する光線を投影レンズの開口数に対応した角度だけ傾け、かつ特定の一方向または有限個の複数の方向から照明するような手段を設けたことを特徴とする微細パタン投影露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-091662
  
• 特開昭62-115719
  
• 特開昭58-160914