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J-GLOBAL ID：200903092982758391

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 櫻井 明彦 ,  鈴木 雅子 ,  竹田 研爾 ,  池田 弘治 ,  藤原 秀悦
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994263226
Publication number (International publication number)：1996104808
Application date： Oct. 03, 1994
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：

【要約】【構成】 (A)ピロメリット酸二無水物および3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種の芳香族テトラカルボン酸二無水物と、ジアミノジフェニルスルホン、ジアミノジフェニルエーテルおよびp-フェニレンジアミンの3種の芳香族ジアミンのモル比が10〜90:10〜90:0〜35である芳香族ジアミン混合物とを主として反応させて得られるポリイソイミド、ならびに(B)放射線の照射により酸性を呈する化合物、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、形成されるパターン状膜は耐熱性のイミド環を有する高分子から構成されているので、電気特性および機械的特性に優れ、そのまま絶縁材料として用いることができ、しかも上記のパターン状膜を形成する際、膜減りの問題が改善され、かつコントラストが良好である。

Claim (excerpt)：

(A)ピロメリット酸二無水物および3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から選ばれる少なくとも1種の芳香族テトラカルボン酸二無水物と、ジアミノジフェニルスルホン、ジアミノジフェニルエーテルおよびP-フェニレンジアミンの3種の芳香族ジアミンのモル比が10〜90:10〜90:0〜35である芳香族ジアミン混合物とを主として反応させて得られるポリイソイミド、ならびに(B)放射線の照射により酸性を呈する化合物、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

C08L 79/08 LRB ,  C08K 5/28 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027