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J-GLOBAL ID：200903092992791761
静電チャック
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992322078
Publication number (International publication number)：1994177231
Application date： Dec. 01, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【構成】250°C以上の温度域における体積固有抵抗が108 〜1013Ωcmのセラミックス体1に静電電極2を備えて静電チャックを構成する。【効果】CVD装置、PVD装置あるいは高温エッチング装置等の250°C以上の温度で使用しても良好にウェハを吸着することができ、固定、搬送、矯正を行うことができる。
Claim (excerpt)：
250°C以上の温度域における体積固有抵抗が108 〜1013Ωcmの範囲にあるセラミックスに静電電極を備えてなる静電チャック。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
