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J-GLOBAL ID：200903093000860097

感光性樹脂組成物

Inventor： 田島 右副 ,  武内 一夫 ,  竹内 江津
Applicant, Patent owner： 理化学研究所 ,  住友ベークライト株式会社
Agent (1)： 内山 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999015176
Publication number (International publication number)：2000214585
Application date： Jan. 25, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】半導体素子、回路配線板などの製造へ応用することができ、感度と解像度が高く、耐熱性の優れた樹脂層を得ることができるネガ型の感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】一般式[1]〜[3]で表される構造を有するcis-ジエン置換ポリアミック酸又はポリイミドと酸素増感剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。ただし、R1〜R4、R5〜R12、R13〜R20の中の少なくとも1つは、cis-ジエン構造を有する1価の有機基であり、残余は、それぞれ独立に、水素、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数1〜20のアルコキシル基である。また、R21は、酸素、硫黄、炭素数1〜4のアルキレン基又はアルキレンオキシ基である。【化1】

Claim (excerpt)：

一般式[1]で表される構造を有するcis-ジエン置換ポリアミック酸又はポリイミドと酸素増感剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(ただし、式中、R1、R2、R3及びR4の少なくとも1つは、cis-ジエン構造を有する1価の有機基であり、残余は、それぞれ独立に、水素、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数1〜20のアルコキシル基である。)

IPC (7)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 3/04 ,  C08L 79/08 ,  C09D 5/00 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 3/04 ,  C08L 79/08 A ,  C09D 5/00 C ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (86)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC01 ,  2H025BC55 ,  2H025BC69 ,  2H025BC81 ,  2H025BD25 ,  2H025BD29 ,  2H025BD33 ,  2H025CA00 ,  4J002BL001 ,  4J002CE001 ,  4J002CM011 ,  4J002CM041 ,  4J002FD156 ,  4J002GQ05 ,  4J038DJ021 ,  4J038DJ031 ,  4J038HA026 ,  4J038NA14 ,  4J038NA18 ,  4J038PA17 ,  4J038PB09 ,  4J038PC02 ,  4J038PC03 ,  4J038PC08 ,  4J043PA04 ,  4J043PA19 ,  4J043PC035 ,  4J043PC036 ,  4J043PC065 ,  4J043PC066 ,  4J043PC115 ,  4J043PC116 ,  4J043PC165 ,  4J043PC166 ,  4J043PC185 ,  4J043PC186 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA02 ,  4J043SA46 ,  4J043SA49 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SA73 ,  4J043SA81 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA15 ,  4J043TA22 ,  4J043TA47 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB131 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB401 ,  4J043VA011 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA041 ,  4J043VA062 ,  4J043XA16 ,  4J043YB18 ,  4J043YB21 ,  4J043YB35 ,  4J043YB37 ,  4J043ZB22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-243450   Applicant：理化学研究所