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J-GLOBAL ID：200903093005347711
位置検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993024441
Publication number (International publication number)：1994082215
Application date： Feb. 12, 1993
Publication date： Mar. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】ヘテロダイン干渉法を用いた位置検出装置において、装置の構成を簡略化して装置の調整を容易にする。【構成】互いに異なる周波数の2光束を生成する2光束生成手段からの2光束を、被検物体上の回折格子に対して所定の2方向から照射し、この回折格子から発生する回折光同士を前記対物光学系を介して光電的に検出する検出器とを有する位置検出装置において、2光束生成手段は、複数又は単一波長の光束を供給する光源手段と、光源手段からの光束を分割して所定の2光束を生成する光束分割手段と、分割された2光束を所定の位置へ集光するリレー光学系と、その集光位置もしくはその近傍に配置され前記分割された2光束に対し所定の異なる周波数差を生じせしめる周波数差生成手段とを設けた。
Claim (excerpt)：
互いに異なる周波数の2光束を生成する2光束生成手段と、該2光束生成手段からの2光束を集光して被検物体上に形成された回折格子に対して前記2光束を所定の2方向から照射する対物光学系と、前記回折格子からの発生する回折光同士を前記対物光学系を介して光電的に検出する検出器とを有し、前記被検物体の位置を検出する位置検出装置において、前記2光束生成手段は、複数の波長の光を含む光束または単一波長の光束を供給する光源手段と、該光源手段からの光束を分割して所定の2光束を生成する光分割手段と、該光分割手段によって分割され2光束を所定の位置へ集光するリレー光学系と、該集光位置もしくはその近傍に配置され前記分割された2光束に対し所定の異なる周波数差を生じせしめる周波数差生成手段とを有することを特徴とする位置検出装置。
IPC (2)：
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