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J-GLOBAL ID：200903093008959386
オートフォーカス制御方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992032765
Publication number (International publication number)：1993196856
Application date： Jan. 22, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：
【要約】【目的】 感材の種類等に係わらず正確且つ迅速にオートフォーカスを行うことができる方法を提供する。【構成】 描画ヘッドHDを上端ZHから下端ZLまで移動させながら、レーザビームLB2の光量を光量センサPSDによって測定し、光量分布を求める。CPU310は、その光量分布から第1出力信号P1が最初に極大値となる位置を算出し、その位置へ描画ヘッドHDを移動させる。その後、CPU310は描画ヘッドHDを減速移動させつつ光量差を検出し、光量差が0値となる位置で描画ヘッドHDを停止させる。更にその停止位置でレーザビームLB1の光量を調整し、光量和が適切値となる様にする。
Claim (excerpt)：
光ビームを感材面に対して出射する光源と、前記感材面で反射された前記光ビームの光量を前記光ビームの受光位置に応じてそれぞれの値が定まる第1光量信号と第2光量信号との形で検出する光量検出器とを備え、且つ上下方向に所定範囲内で移動可能な描画ヘッドについてのオートフォーカス制御方法であって、(a) 前記光源より出射される前記光ビームの光量を一定値とするステップと、(b) 前記描画ヘッドを前記所定範囲にわたって移動させつつ、前記光量検出器によって前記第1光量信号に関する光量分布を求めるステップと、(c) 前記ステップ(b)で求めた光量分布から、前記描画ヘッドを前記所定範囲の上端から下端へ向けて移動した場合に最初に前記第1光量信号が極大値となる位置を算出するステップと、(d) 前記ステップ(c)で算出した前記位置へ前記描画ヘッドを移動するステップと、(e) 前記光量検出器によって前記第1光量信号と前記第2光量信号とを検出するとともに、両信号の差として定義される光量差を算出しつつ、更に前記描画ヘッドを前記位置から前記ステップ(d)と同一の移動方向へ移動させるステップと、(f) 前記ステップ(e)による移動において、前記光量差が0値となった位置で前記描画ヘッドを停止するステップと、(g) 当該停止位置に於いて、前記第1光量信号と前記第2光量信号との光量和が所定値以上となるように前記光源より出射される前記光ビームの光量を調整するステップとを備えたことを特徴とするオートフォーカス制御方法。
IPC (5)：
G02B 7/28
, B41J 2/44
, G03F 7/20 505
, H04N 1/04 104
, G03G 15/04 116
G02B 7/11 M
, B41J 3/00 D
