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J-GLOBAL ID：200903093019032330

感光性樹脂組成物

Inventor： 佐藤 弘章 ,  勝間 勝彦
Applicant, Patent owner： 日本合成化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000398365
Publication number (International publication number)：2002196485
Application date： Dec. 27, 2000
Publication date： Jul. 12, 2002
Summary：

【要約】【課題】 耐サンドブラスト性、レジスト剥離性、耐現像液性、レジストの保存安定性等に優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【解決方法】 カルボキシル基含有アクリルウレタン系樹脂(A)100重量部に対して、カルボン酸変性ポリカプロラクトンジオール(B)0.5〜30重量部、光重合開始剤(C)0.1〜20重量部及び光発色性染料(D)を0.1〜5重量部含有してなる。

Claim (excerpt)：

カルボキシル基含有アクリルウレタン系樹脂(A)100重量部に対して、カルボン酸変性ポリカプロラクトンジオール化合物(B)を0.5〜30重量部、光重合開始剤(C)を0.1〜20重量部及び光発色性染料(D)を0.05〜5重量部含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (8)：

G03F 7/027 513 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F299/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 507 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/028

FI (8)：

G03F 7/027 513 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F299/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 507 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/028

F-Term (45)：

2H025AA00 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC66 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CC15 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J011PA88 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QB24 ,  4J011RA07 ,  4J011SA06 ,  4J011SA07 ,  4J011SA22 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA36 ,  4J011SA64 ,  4J011SA78 ,  4J011SA88 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J027AG03 ,  4J027AG04 ,  4J027AG05 ,  4J027AG09 ,  4J027AG23 ,  4J027AG24 ,  4J027AG27 ,  4J027AG33 ,  4J027CA09 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10