Pat
J-GLOBAL ID：200903093023820548
原子間力顕微鏡用プローブ
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991113880
Publication number (International publication number)：1993346324
Application date： Apr. 19, 1991
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡に用いられるプローブにおいて、検出感度が高く、表面の凹凸のアスペクト比が高い試料に対しても高解像度で測定できるプローブを提供する。【構成】 湾曲したプレート部2の凸面側の先端部にチップ1を設けたプローブとする。【効果】 プローブが固定された基板4を傾けてセットした場合でも、原子間力の検出部分での法線nと試料表面5とが直交するので、プローブの変位する方向と原子間力の方向とが一致し、検出感度が向上する。また、チップが試料表面に対して垂直な状態に保たれるので、表面の凹凸のアスペクト比が高い試料でも充分に測定可能である。
Claim (excerpt)：
湾曲したプレート部と該プレート部の凸面側の略先端部に突設されたチップとを備えたことを特徴とする原子間力顕微鏡用プローブ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
