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J-GLOBAL ID：200903093037073648
走査ステージ装置およびこれを用いた露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995134744
Publication number (International publication number)：1996037151
Application date： May. 08, 1995
Publication date： Feb. 06, 1996
Summary：
【要約】【目的】 走査型の露光装置のレチクルステージやウエハステージの駆動部を小形、軽量化する。【構成】 ウエハW1 を載せた走査ステージ3はガイド2に沿って所定の走行路を走行し、該走行路の両端部分のみにおいてリニアモータA1 ,A2 の推力によって加速減速され、中央部においては、サブリニアモータA3 によって走査ステージ3の走査速度を一定に保つためのわずかな推力が発生されるだけである。従って、サブリニアモータA3 は小形、軽量のものですみ、駆動部全体の小形化、軽量化および低コスト化を促進できる。
Claim (excerpt)：
所定の長さの定速走査領域とこれに続く加速領域を有する走行路に沿って走行自在である走査ステージと、前記走行路の前記加速領域において前記走査ステージを前記定速走査領域に向かって加速するための第1の推力を発生する第1の推力発生手段と、前記走行路の前記定速走査領域において前記走査ステージの走査速度を制御するための第2の推力を発生する第2の推力発生手段を有する走査ステージ装置。
IPC (6)：
H01L 21/027
, B65G 49/07
, G03B 27/32
, G03F 9/00
, H01L 21/68
, B65G 54/02
H01L 21/30 503 B
, H01L 21/30 518
